微光学的范围有哪些-微型全自动精密子机械测量显微硬度计 作为一门新兴技术,微光学涉及的范围并不亚于光子学,它是光通讯与微电子学结合的产物,它的应用领域也不仅包括人眼可接受的光谱范围,同时也包括紫外和红外光等范围。 微光学涉及的基本材料多为二氧化硅、玻璃、半导体、硅和铿化妮以及一些新型有机材料。它所涉及的器件包括在二氧化硅、玻璃、锉化妮或硅上通过集成光路形成的微光波导,全自动精密二极管DEL和激光二极管DL等微光源,光纤和微透镜等微元件。 在微机械研究中,微光学现在已成为与微电子、微机械密不可分的重要部分,尤其在汽车、飞机和机器人等工业领域具有潜在的应用前景。目前微型全自动精密子机械系统MOEMS已经成为微机械的重要发展方向之一。
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