倾斜光轴的显微硬度计可用全自动精密显微硬度计测角仪来测定-工具型 工具显微硬度计的载物台在x-Y平面上和垂直位置上都由精密测微器调节并用标度盘指示器来控制使它便于测星表面特征之间的距离.在研究非常小的晶体时,不同的裸露平面之间的角度可以用备有校正过的旋转载物台和校正过的可倾斜光轴的显微硬度计(全自动精密显微硬度计测角仪)来测定.使光源和显微硬度计对观察面都倾斜成45°角时,便构成一台能够测量台阶高度的光截面显微硬度计.它虽不具有如全自动精密显微硬度计干涉仪那样精细的分辨能力,但是对产品测量却更实用.另外还有依赖于附加现象的其它光学装置,这些装置也是用来检验半导体材料和器件的,例如相衬、干涉衬度和起偏振镜等.
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