较粗糙的表面任意两点光学距离测量显微硬度计全息照像干涉测量和普通干涉测量是有区别的。它能利用同一个光路记录不同时刻的波前,这就能用由真实物体所得到的干涉图与标准物体干涉图进行比较。此时,一般说来,对光学器件的质量要求并不十分重要。因为即使光学零件不完善,两个干涉波的变化程度仍是一样的。 较粗糙的表面,用全息照像干涉测量技术比较方便,只是在全息图方向上要散射足够的光量。它不需要比较标准样件,就可以进行任意的相对测量。例如,可以测量当表面变形或受压缩时,表面移动的情况。这时,原始的表面状况,可以用作终表面状况的标准样件全息照像干涉测量技术可以在不同时间以真实比例进行两次曝光。这样就可以同时见到物体变形的干涉图象的变化。实际上的问题在于,在显影之后~定要把全息图放还到记录时的原始位置上。 再现时,可同时照射全息图和物体。如果以原来的参考光波照射全息图,使之精确地还原到原始状态,则所成的虚像不仅象这个物体的精制复制品,而且能与空间的物体相重合,也有着与物体相同性能的光散射袭面形状。为此,观察时必须使物体光束和参考光束形成的干涉组织与记录在全息图上的组织重合,其精确度要达到条纹间距离的十分之一以内。如果物体光束和参考光束之间的角度小,这也是容易做到的。 如果物体受到变形,那么,由观察点到表面上任意点的光学距离也起变化,这个距离是相当予标准样品表面(虚像表面)各点的相对距离,由表面各点到照射两个表面的光源的距离也发生变化。由同一部位上、但是从表面位移部位上散射的相干光束,在由光源到观察平面的光路上,相应地得到了相对的相位移动。由于相位的移动,以及由它引起的形成光波振幅的变化,产生了干涉图象。这种图象可以表示物体表面变形的性质。
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