覆层厚度测量试样磨制全自动精密制样分析光学显微硬度计试样磨制 镶嵌好的试样磨光和抛光,少量的可用手磨光的抛光机进行,大批量的可用自动机进行。 试样抛磨方法通常是采用逐次变细的磨料,后可用600粒磨料或者更细的磨料,对固定的试样进行研磨.在研磨过程中,研磨表面应垂直子覆层表面,为此可在研磨前,在平行研磨表面韵外侧划一记号,通过简单的测量,可以发现研磨中是否发生倾斜,以及发生多大的倾斜。研磨应施加合适的压力,而研磨方向可和覆层表面成45°,每当磨料向较细变换一次,研磨方向与前次方向改变90°进行。研磨中应注意发现有无异常现象,以便随对加以排除覆层和基体材料间界线不明显时,为了便于观测,则往往需要先将磨好的试样(磨片)进行化学腐蚀,如测量铝上氧化膜之类的,界限较为明显,则可不进行腐蚀,通常视其具体情况而定.为了界线的浸蚀清晰,选用合适的浸蚀剂是必要的,列出了测量镀层厚度所常用的浸蚀剂。试样通过浸蚀可消除硬金属在软金属上的划痕。对于不明显的界线或呈现覆层厚度的不规.律性变化,应通过补充抛光和浸蚀达到呈现清晰的界面.测量 对于厚的覆层厚度测量,放大倍数应该使视场直径是膜厚的1.5一3倍,这不包括保护层。对于薄的覆层厚度测量,同样放大倍数满足不了视场直径与膜厚的上述关系,还应尽可能适当地选择较大的放大倍数。 测量可采取目镜观测,也可投影到毛玻璃上,还可拍摄,或者是用校正的刻度尺测量,总之可根据具体情况和要求进行。 测量仪器一般采用螺丝游动测微计和目镜测微计,后者准确,度较差.测量试样的覆层厚度时,磨片表面与光轴应尽可能准确垂直。利用的视场直径一般不大于其本身的2/3,光栏孔径不大于物镜孔径的2/3。 测量前和测量后应对仪器进行标定,标定和测量应由同一操作者完成。目镜测微计重复标定误差应小于1%,载物台测微计的两条线的间距应在0.2微米或0.1%以内。目镜测微计移动的回程间隙也会引起误差,通常在对位过程中,将测微计十字线交叉的一边调到与待钡4覆层的一边相重合,然后再与另一边相重合,并且每次测量都以同一方向旋动对准,从而消除回程间隙所引起的误差。 测量一般对每个测点至少应测3次,对于严格要求的仲裁性测量,则应在每一个测量点上测量10次.
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