电子全自动精密维氏硬度计分析技术-扫描电镜试样制备简单 电子维氏硬度计主要有两类:一类是透射式电子维氏硬度计;另一类是扫描式电子维氏硬度计。它们都利用高速电子同试样作用时所产生的信息成像,但两者所利用的信息种类有所不同,成像原理也有所区别。透射式电子维氏硬度计是利用试样对入射电子波的衍射成像。扫描式电子维氏硬度计主要利用非弹性碰撞过程中所产生的各种信息按类似于电视的方式成像。由于扫描电镜具有:试样制备简单;能对试样的特定部位同时作形貌、成分、结构等多项观察的优点,因此我们采用扫描电镜观察晶纤表面缺陷并用电子探针能量色散谱(简称EDS )对缺陷进行微区分析。
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