维氏硬度计测量表面粗糙度的高度范围为1~0.03微米测微目镜读数法首先使测微目镜中十字刻线的水平线平行于干涉图样的方向线,以此方向线为基准线。然后移动水平线使与取样长度范围内的五个高点及五个低点相切,得到相应的10个读数。采用干涉维氏硬度计测量时,不与被测表面接触,故对被测表面不会破坏。同时这类仪器具有高放大倍率(放大500倍)和高鉴别率,可以测量表面不平度高度范围为1~0.03微米i)光切法和干涉法在测量时都不使用测头,因此不会划伤零件表面;ii)可以测出被测表面实际轮廓的谷底,测量精度较高(因不受测头大小的影响);iii)由于测量仪器(即光切维氏硬度计和干涉维氏硬度计)比轮廓仪价格便宜,使用较广泛。 缺点。i)在光学仪器上不能一次测出许多评定参数的参数值Iii)轮廓仪一次可以测出27种参数及其数值,而光学仪器则要测量几次才能得出一个参数值,测量效率低 iii)有许多复杂表面无法测量.
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