结构的精确测量-微观几何特征高分辨率维氏硬度计微观几何特征, 在微米和亚微米范围内对结构的精确测量变得越来越重要。因为无限的小型化,对于产品的分辨率和微电子与微观结构的度量是很重要的,对于微粒尺寸分布的测量也很重要,例如,在环境保护中的应用。大量的测量方法适用于完成这些任务,它由传统光学维氏硬度计范围延伸到紫外线范围。通过电子维氏硬度计到高分辨率近场维氏硬度计方式,例如,原子力维氏硬度计。 光学维氏硬度计包括普通的明暗场维氏硬度计,共焦维氏硬度计,在可见光谱和紫外线范围内的干涉维氏硬度计。作为非微观的附加特征,物体的远场衍射成像能被估算出。对于照射在物体上的放射光线的互相影响的基本研究和理论模型,都是对这些方法的额外的帮助。非光学的高分辨率维氏硬度计测量方法[扫描电子维氏硬度计(SME),原子力维氏硬度计(AFM)等]普遍应用于检查和评估微观几何构造。这些是光学维氏硬度计方法所不能解决的,作为对光学测量方法的补充。在对用于物体结构的扫描探针和维氏硬度计系统特定扩张之间的互相作用做进一步研究之后.例如,附加精密长度测量系统,高分辨率维氏硬度计方法也用于校正。目前为止,这种方法还不太可能,因为光学方法原理在能够实现的分辨率方面还受限制。
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