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研磨加工表面光洁度及颗粒测量显微油分析仪器 |
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研磨加工表面光洁度及颗粒测量显微油分析仪器对于微型球状研磨工具而言,由碳化钨电极经放电高温熔化并 借助由表面张力原理使其尖端形成球状,成球形状精度会受到峰值电流、脉冲时间影响而球状电极之偏摆角度受到电极转速之参数影响,而复合电镀沉积时镀层的表面平整度、磨粒分布均匀性与镀层厚度皆受到电流密度、磨粒添加量、工具转速与电镀时间等参数影响。因此拟控制以上参数以得到较佳之制程参数。制作出磨粒分布均匀的微型研磨工具,其工具球径大小、长度、偏摆角度、表面磨粒附着量多寡等,皆会影响研磨加工后的微凹型球面模穴表面品质,所以本研究将再进行微凹型球面模穴研磨加工的特性探讨,以得到较佳研磨加工效果
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