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| 光学测距传感器在光学轮廓仪中使用的技术观测 |
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光学测距传感器在光学轮廓仪中使用的技术观测光学车间检测 共焦硬度计共焦硬度计是商用化成功的一个光学聚焦传感系统，该系统早用来进行生物样品的检测，近来在工程表面的测量上也得到了应用干涉型光学轮廓仪 (1)双波长和多波长干涉测量早的干涉型光学轮廓仪使用的是单色光照明，同时使用了相移技术。使用相移技术可以获得高测量精度，但是单色光照明却限制了测量的范围。为了能够扩大测量范围，进一步发展了双波长和多波长技术。如今双波长和多波长干涉测量原理还在全息和散斑技术中使用，用来测量大口径元件，其间用到了条纹投影和结构光技术 (2)白光干涉测量 白光干涉测量系统早已被确立为用于工程表面测量的主导光学轮廓仪。白光干涉测量可以看做一种光学聚焦传感器，干涉信号的位置确定了佳焦点。这类设备的典型结构是由一个传统的硬度计配备一个干涉物镜组成。这种干涉测量技术相比其他光学和探针轮廓技术而言，其优势在于是进行全场扫描而非点到点的扫描。由于整个面积的成像是同时完成的，横向扫描变得不再必要，这也极大地提高了测量速度。 (3)光谱干涉仪另一种干涉技术是基于观测由很多波长光束所形成的干涉条纹，这种条纹称为光谱干涉条纹。光谱干涉可以通过在干涉仪中使用一个波长可调谐光源来获得，或者在干涉仪的出射端放置一个色散元件来实现。不同的系统则分别称为波长扫描干涉仪或光谱分辨白光干涉仪。这种测量技术不再是探测每一个点的佳焦点，而是对携带测量对象位置信息的条纹周期进行测量。这一技术避免了轴向机械扫描。 (4)光学测距传感器在干涉光学轮廓仪中使用的技术常常建立在干涉光学测距传感器技术之上，或者说是基于该传感技术独立发展而成，这种传感技术主要用在基于单个点的绝对距离或长度的测量上。要进行单点探测，就要使用更快速的探测器和光电器件，也就是特殊任务的信号处理技术。 (5)偏振干涉仪一些干涉仪则利用了光的偏振特性，从而使得两个光束在干涉仪中几乎以相同的路径进行传输，就像在微分干涉硬度计中一样。偏振干涉仪利用偏振来实现相移，这样通常能够降低对振动的敏感性。光的偏振特性在评估一些亚微结构特性时是很有效的。
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