测量不同种类的光路-光学仪器常识

对于任意结构的装置．入射光必须垂直于参考面，以使参考光
在返回时，沿着相同的路径通过干涉仪。测试光也是如此。
由于激光的相干长度很大，透镜表面或者其他部件的任何反射
光将会造成伪条纹。在成像透镜和发散透镜的焦点处放置空间滤波
器．可以部分消除这些条纹。在系统中的其他光学表面上镀制增透
膜，可以更进一步减少这些不需要的条纹。

斐索激光干涉仪
直到激光的出现，原先由短相干长度的光源带来的干涉仪需匹
配其两光路路径长度的问题才得以真正解决。由于激光相干长度较
长，斐索激光干涉仪在双臂之间可以有很大的路程差。使用一个如
泰曼一格林干涉仪中的分束器，透镜或平板表面可经菲涅尔反射形
成参考光束。光程差是被测表面和参考面之间距离的
两倍．可达到几米。单模激光很容易满足这个相干长度要求。
斐索激光干涉仪的大优点在于参考光和测试光是共光路。另
外，它很容易改变系统以测量不同种类的光

为了检测平板，用透射平板代替了发散透镜，而干涉仪的重要部分
保持不变。参考波前来自于透射平板后表面的菲涅尔反射。
下面的装置用于检测凹面。参考波前来自于发散透镜组后表
面的菲涅尔反射。设计发散透镜组是为了使光束垂直人射到参考面
上。这个干涉仪的灵活性是非常明显的。