Scanning Probe Microscope即扫描探针硬度计，也可以称是表面分析仪器。是综合运用光电子技术、激光技术、等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品 。

当然除了扫描探针硬度计,还有原子力硬度计AFM,激光力硬度计LFM，磁力硬度计MFM等等一系列的高科技产品。

在此着重说明扫描探针硬度计的优点与缺点：

1.它的大优点便是可以成三维的样品表面图像，还可对材料的各种不同性质进行研究。
2.极高的分辨率
3.使用环境宽松
4.应用领域是宽广
5.价格相对于电子硬度计等大型仪器来讲是较低的

然事物不都是精美的，它也有缺陷的地方
1.扫描速度受到限制， 测效率较其他显微技术低
2.不可以像电子硬度计的大范围连续变焦
3.定位和寻找特征结构比较困难
4.对样品表面的粗糙度有较高的要求
5.探针的几何宽度、曲率半径及各向异性会引起成像的失真